高效过滤器主要用于捕集0.5um以下的颗粒灰尘及各种悬浮物。采用超细玻璃纤维纸作滤料，胶版纸、铝膜等材料作分割板，与木框铝合金胶合而成。
每台均经纳焰法测试，具有过滤效率高、阻力低、容尘量大等特点。以其结构形式可分为有：有隔板高效过滤器、无隔板高效过滤器、大风量高效过滤器,超高效过滤器等。一种是超高效过滤器，能做得到净化99.9995%。
高效过滤器安装注意事项：
1、安装高效过滤器是净化空调系统和洁净室施工安装的关键，应注意以下几点：
2、安装前清洁；
3、系统应空吹清洁；
4、净化车间应再次清扫，如用吸尘器吸尘，不得用普通吸尘器，需要用配有超净滤袋的吸尘器；
5、如在吊顶内安装，吊顶内应进行清扫；
6、然后试运转系统达12h后再次清洁洁净车间，方可安装高效过滤器。
高效过滤器的更换周期应根据实际情况而定，一般建议在以下情况下进行更换：
1、过滤器使用时间超过设计寿命；
2、过滤器经过多次清洁和维护后仍无法恢复性能；
3、过滤器损坏严重或无法修复；
4、压差达到或超过设计值；
5、经过检测发现过滤器性能下降。
各个高效过滤器的阻力差别会影响风量平衡和气流均匀，安装时应将阻力过高或过低的个别空气过滤器剔除，将阻力大小相近的空气过滤器安排在同一房间中，同一房间中不同阻力的空气过滤器也宜均匀分散位置。